LOSOID Schmiermittel für die Reinraumtechnik

Zunehmend empfindlicher werdene Produkte z. B. aus der Mikroelektronik oder 
der Optik erfordern immer reinere Fertigungsumgebungen. Diese können nur noch 
in Reinräumen hoher und höchster Reinraumklassen erzeugt werden. Die Reinheit 
der Produktumgebung während der Fertigung kann jedoch nur durch Produktions- 
anlagen gewährleistet werden, die selbst extrem wenige Partikel erzeugen, also 
höchsten Ansprüchen hinsichtlich der Reinraumtauglichkeit  genügen.
Die Ermittlung von für die Reinraumtauglichkeit wichtigen Werten wie Partikel- 
emmision und Partikelgrößenverteilung erfolgte unter standardisierten Bedingun- 
gen an einem spindelgetriebenen Wafer-Positionstisch.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Prüfstand zur Untersuchung des Einflusses von Schmiermitteln
 auf die Partikelemission von Fertigungsanlagen im Reinraum

Da sich in vielen Anlagen bewegte Komponenten wie Antriebe,
Antriebsübertragungselemente oder Führungen befinden, die meist nur geschmiert
betrieben werden können, kommt der Wahl eines geeigneten reinraumtauglichen
Schmiermittels große Bedeutung zu.
Als wichtige Kriterien für die Reinraumtauglichkeit von Schmiermitteln
können genannt werden:
    • starke Veringerung des Antriebs der geschmierten Komponenten



    • geringe Partikelemmission und Abtropfneigung



    • geringe Neigung zum Ausgasen bzw. Verdampfen



    • Alterungs- (UV)- Beständigkeit



    • Hohe Beständigkeit gegen die Werkstoffe der geschmierten
      Komponenten sowie Umgebungsmedien

 

  • geringe Verschmutzung mit Fremdpartikeln
Da die bisher eingesetzten Schmiermittel diesen Anforderungen häufig nicht oder nur
teilweise genügen, hat LOSIMOL  eine Serie von speziellen Reinraumschmier- 
mitteln entwickelt und in einem Reinraum der
Klasse 1 des Prüfzentrums für Halbleiterfertigungsgeräte am Fraunhofer-Institut 
für Produktiontechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, auf Reinraumtauglich- 
keit untersuchen lassen. 

Losimol GmbH, Arndtstraße 14, 30167 Hannover, Telefon: + 49 (05 11) 7 10 03 01 Telefax: + 49 (05 11) 1 35 59 E-Mail: Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! Zur Anzeige muss JavaScript eingeschaltet sein!